ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Неохлаждаемое микроболометрическое фотоприемное устройство формата 320x240 на основе золь-гель VO_x

М. А. Демьяненко, Б. И. Фомин, Л. Л. Васильева, С. А. Волков, И. В. Марчишин, Д. Г. Есаев, В. Н. Овсюк, В. Л. Дшхунян, Е. Б. Володин, А. В. Ермолов, П. П. Усов, В. П.Чесноков, Ю. С. Четверов, П. Н. Кудрявцев, А. Е. Здобников, А. А. Игнатов

   Разработана технология изготовления неохлаждаемых микроболометрических фотоприемных устройств формата 320x240, чувствительных в спектральном диапазоне 8—14 мкм и состоящих из матричного микроболометрического приемника мостикового типа, термоэлектрического стабилизатора температуры и малогабаритного вакуумного корпуса, снабженного просветленным германиевым окном и газопоглотителем. Достигнута разность температур, эквивалентная шуму, менее 100 мК при угле зрения 60^o и частоте кадров 50 Гц.

PACS: 07.57.Kp; 73.50.Td; 81.20.Fw; 85.40.Bh

Ключевые слова: микроболометры, оксид ванадия, золь-гель, мультиплексор, неохлаждаемый, инфракрасный, приемник.

Л и т е р а т у р а

1. Рогальский А. Инфракрасные детекторы. — Новосибирск: Наука, 2003. — 636 с.
2. Howard P. E., Clarke J. E., Bradley M. G. Ionescu A. C., Li C. Progress in uncooled focal plane sensor technology at Boeing// Proc. SPIE. 2000. V. 4130. P. 168—174.
3. Blackwell R., Lacroix D., Bach T., Ishii J., Hyland S., Geneczko J., Chan S., Sujlana B., Joswick M. Uncooled VOx thermal imaging systems at BAE Systems// Ibid. 2008. V. 6940. P. 694021-1.
4. Fieque B., Robert P., Minassian C., Vilain M, Tissot J. L., Crastes A., Legras O., Yon J. J. Uncooled amorphous silicon XGA IRFPA with 17µm pixel-pitch for High End applications// Ibid. P. 69401X-1.
5. Овсюк В. Н., Шашкин В. В., Демьяненко М. А., Фомин Б. И., Васильева Л. Л., Соловьев А. П. Неохлаждаемые матричные микроболометрические приемники ИК-излучения на основе золь-гель-VO_x// Прикладная физика. 2005. № 6. С. 114—117.
6. Dem'yanenko M. A., Fomin B. I., Ovsyuk V. N., Marchishin I. V., Parm I. O., Vasil'ieva L. L., Shashkin V. V. Uncooled 160x120 microbolometer IR FPA based on sol-gel VOx// Proc. SPIE. 2005. V. 5957. P. 59571R.
7. Чистохин И. Б., Демьяненко М. А. Определение теп-ловых параметров микроболометров из электрических измерений// Прикладная физика. 2006. № 1. С. 91—95.
8. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. — М.: Мир, 1964. С. 505.


Статья поступила в редакцию 15 января 2010 г.

Демьяненко Михаил Алексеевич, старший научный сотрудник.
Фомин Борис Иванович, ведущий научный сотрудник.
Васильева Людмила Львовна, инженер.
Волков Сергей Алексеевич, инженер.
Марчишин Игорь Владимирович, старший научный сотрудник.
Есаев Дмитрий Георгиевич, старший научный сотрудник.
Овсюк Виктор Николаевич, профессор.
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН.
Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Ак. Лаврентьева, 13.
Тел.: (383) 333-10-81. Факс: (383) 330-90-29.
E-mail: dem_yanenko@thermo.isp.nsc.ru
Дшхунян Валерий Леонидович, генеральный директор.
Володин Евгений Борисович, главный специалист.
Ермолов Александр Викторович, главный специалист.
Усов Павел Павлович, главный специалист.
Чесноков Владимир Петрович, главный специалист.
ОАО "Ангстрем".
Россия, 124460, Москва, Южная промзона, проезд № 4806,
д. 4, стр. 3.
Тел.: (499) 720-82-78. Факс: (499) 731-32-70.
Четверов Юрий Степанович, начальник отдела.
Кудрявцев Павел Николаевич, ведущий инженер.
Здобников Александр Евгеньевич, зам. генерального директора.
Игнатов Александр Александрович, зам. генерального директора.
ОАО «ЦНИИ "Циклон"».
Россия, 107497, Москва, Щелковское шоссе, 77.
Тел.: (495) 785-51-81, доб. 44-10. Факс: (495) 460-34-01.

Содержание