ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Устройство точного позиционирования для электронных микроскопов

В. А. Васин

   Приведено устройство точного позиционирования для электронных микроскопов, не создающее электромагнитных помех, которое может быть использовано в ряде биологических и других исследований, требующих полного отсутствия данных помех. При этом устройство обеспечивает приемлемую точность позиционирования, сравнимую с пьезомеханическими системами.

PACS: 06.60. Sx

Ключевые слова: устройство точного позиционирования, трубчатые упругодеформируемые приводы, загрязнения электромагнитным фоном, микрочастицы износа.

Л и т е р а т у р а

1. Пат. 2206913 Устройство позиционирования и привод вращения для него; Заявка № 2001118067/28 от 03.07.2001/ А. Т. Александрова, В. А. Васин, А. А. Горюнов и др.

Статья поступила в редакцию 18 декабря 2009 г.

Васин Владимир Анатольевич, доцент.
Московский государственный институт электроники и математики.
Россия. 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3.
Тел.: (495) 235-64-35.
E-mail: vacuumwa@list.ru; vacuumwa@ya.ru

Содержание